1200度滑竿式單溫區PECVD系統

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主要技術參數

 

TL1200滑動管式爐

 

 

 

 

 

 

 

型號

TL1200-H-PECVD-I

TL1200-H-PECVD-II  

 TL1200-H-PECVD-III

 功率

2.5KW

3.5KW

3.5KW

  爐管尺寸

Dia60(OD)X1800mm

Dia80(OD)X1800mm

Dia100(OD)X1800mm

爐管尺寸(mm)

高純石英管:60/80/100*1800mm(管徑可選)

兩邊各放置一個爐塞,爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射,必須在加熱前放置在爐膛的正確位置

 

外形尺寸(LXDXH)

1800X410X610

1800X460X660

1800X460X660

電源電壓

220V

滑軌材質 304不銹鋼
滑動方式 不銹鋼滾動軸承

相數

單相

加熱元件

   進口瑞典Canthal  A1 電阻絲      點擊進入資料下載

控制方式

 

 采用宇電程序控溫儀表(標配)

1、30段程序控溫智能PID調節。

2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,,(當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時,

主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護電爐)。

3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標配)

4、具有斷電保護功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

(更換進口儀表,需要另外付費,選購)

                                                   

FP93控溫儀表                          歐陸儀表                   觸摸屏儀表

(日本島電)

控溫模式

智能PID

斷偶保護和顯示

過溫保護

過流保護

控制精度

+/- 1 ℃

觸發器

移相觸發

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國西門康

最高溫度

1200 ℃

額定溫度

1100 ℃ 

升溫速率

≤20 ℃/ Min (可根據要求修改)

推薦升溫速率

≤10℃/ Min

熱電偶型號

K  型

加熱段長度

400mm

電器認證

四周表面溫度

≤45℃

閥門和法蘭

 

     射頻電源

(等離子體發生器)

 

功率輸出范圍

  0-500W

最大反射功率

  200W

工作頻率

射頻:13.56MHZ±0.005%

功率穩定度

 +/-0.1%  

諧波分量

≤-50dbc

射頻區域寬度

0-600mm 可調

匹配方式 

 自動

 冷卻方式

 分冷

 噪聲

 <50dB

射頻接口

 50Ω   N-type

輸入電源 

 208-240V  50/60HZ

 

GX供氣系統主要參數

 

流量控制和檢測采用

 

 D07-7C

質量流量計

 

標準量程

采用質子流量控制器       5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇量程和所通氣體的類型)

最大工作壓力

3MP

準確度

 ±1.5%

氣壓降

<0.01mpa< p="">

重復精度

±0.2% F.S

路數

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

系統工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45℃

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6   1/4”

VS-0.1抽氣系統

 

 

 

電源

  220V

尺寸

 600X600X600

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統抽爐管真空度

 10 -1Pa

真空擋板閥

 KF25

 

VRD-8真空泵

 

型號

VRD-8

  極限分壓強

5X10-2 Pa

   進排氣接口

 KF25

    電機轉速

1440RPM

抽氣速率

 2.2L/S

    電機功率

0.4KW

Perfeer ACP15無油多級羅茨泵 

 

(方案 二)

型號 ACP15
電源 AC100~240V    50/60HZ
功率 450W
抽、排氣接口 KF25
重量 25KG
最大氦氣漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
極限真空度 0.02 Torr
抽氣速率 14  m3/h

電阻真空計

   型號

ZDR-1

   功率

25W

  真空度測量范圍

0.1-10 Pa

   電阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷電容真空計

(選購)

 

 

 

 

   

 

型號

PCG554

  輸入電壓

 24V  1A DC(配有220V變壓器)

真空計接口

KF16

數字顯示

數字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數據顯示單位為torr

產品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

檢測氣體

可檢測各種氣體,包括混合氣體,測量精確、重復性好。

是否防腐

防腐

響應時間

≤30ms

測量范圍

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵機組(選購)

機組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

機箱尺寸

600X600X600

分子泵(方案一) 

 分子泵型號

  FJ620

  輸入電壓

 380V

  分子泵進氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S(對空氣)

  600

分子泵極限壓強(Pa)

6×10-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓(MPa)

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃< p="">

環境溫度

0~40℃

建議啟東壓強

<100pa< p="">

前機真空泵RVP-6

(方案一)

 

  

功率

0.75KW

電壓

380V

轉速

1450rpm

進氣口徑

 KF25/KF40

前機泵抽氣速率(L/S)

6

極限壓強

4X10 -2Pa

 

 

德國Pfeiffer真空泵(方案二)

 

電壓

220V

功率

110W

抽氣接口

KF40

重量

150KG

前機泵抽速

0.9m 3/ h

抽氣速率(N2)

33L/S

 

復合真空計

復合真空計型號

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計測量范圍

10-5 -10 Pa

 保修期

一年保修,終身技術支持

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不在保修期內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

注意事項

1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa

2.由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa

3.當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當

4.進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊

5.對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開排氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

 

TL1200滑竿式PECVD系統,由TL1200滑竿式真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統、抽氣系統、真空測量系統組成。

 

 主要特點:

      1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。

      2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。

      3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。

      4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。

      5、廣泛應用于:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

 

         這款TL1200 滑竿式PECVD系統是一款能夠快速加熱、冷卻PECVD系統,是在PECVD系統上安裝一對滑軌,可用手動滑動系統。加熱和冷卻速率最大可達100°C/min。為取得最快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s,是低成本快速加熱、冷卻的PECVD系統。

 

       這款TL1200滑竿式PECVD系統以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端采用不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa, 該系統使用方便,操作簡單,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、生長石墨烯、生長各種薄膜的理想產品.。

 

1、瑞典Kanthal A1 電阻絲

                                    

           

        Kanthal A1 原絲                                  國產電阻絲爐膛                        VS                     進口電阻絲爐膛

 

(1)、表面溫度高可達1420

(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。

(3)、Kanthal電阻絲資料下載

(4)、Kanthal電阻絲網站:www.kanthal.com

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好

 

 

                                                                                                                                        

大部分廠家使用的首鋼生產的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲                     Kanthal  A1 電阻絲 電阻均勻 、 發熱量均衡

有時候電阻不均衡、一部分發熱量大一部分發熱量小                                         溫場效果好                 

 

2、安裝有空氣開關和漏電保護器:

當電路過流或漏電時,空開會自動斷開。

 

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出

 

 

4、爐膛

 

1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用日本技術成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本最優的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

4、采用4周加熱,溫場更加均衡

 

5、可選UL認證電氣板 (全部通過UL認證的進口電器)

 

 

6、認證

     

 

7、法蘭

                                                    

鉸鏈式法蘭(選購)           可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭(選購)                 水冷法蘭(選購)

                                

 

 

TL1200單溫區滑動式PECVD系統標配

描敘

數量

圖片

TL1200滑動式管式爐

1 套

石英管

1根

不銹鋼法蘭

1 套

不銹鋼爐鉤

1 個

氧化鋁爐塞

3個

高溫手套

1 雙

氧化鋁坩堝

1 個

K型熱電偶 1個

485轉換接口和軟件(選配)

1 套

說明書

1本

 

法蘭支撐架

1 份

                                            

供氣系統

  1臺
VS-0.1抽氣系統 1臺
射頻電源 1臺  
卡套 4個                                       
波紋管 1支                                    
真空擋板閥 1個                           
鋼瓶接頭(N代表路數) N個                  
閥門接頭 2個                              
聚四氟乙烯管(N代表路數) NX5                         

 



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