1200度原子層氣相沉積系統

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 型號

ALD-TL1200-1200-H-C-I

ALD-TL1200-1200-H-C-II  

ALD-TL1200-1200-H-C-III

TL1200

管式爐

功率  

4KW

4KW

4KW

 

石英管:60/80/100*1500mm(管徑可選)

兩邊各放置一個爐塞,爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射,必須在加熱前放置在爐膛的正確位置

 

 

外形尺(LXDXH)

1500X450X600

1500X450X600

1500X510X650

電源電壓

220V

相數

單相

加熱元件

  國產優質電阻絲(可選配瑞典Kanthal A1進口電阻絲)          點擊進入資料下載

控制方式

 

 采用宇電程序控溫儀表(標配)

1、30段程序控溫智能PID調節。

2、具有過溫保護 斷偶保護,過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,,(當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷

時,主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護電爐)。

3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標配)

4、具有斷電保護功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

(更換進口儀表,需要另外付費,選購)

                                                                 

FP93控溫儀表(日本島電)               歐陸儀表                                  觸摸屏儀表

控溫模式

智能PID

斷偶保護和顯示

過溫保護

過流保護

控制精度

+/- 1 ℃

觸發器

移相觸發

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國西門康

最高溫度

溫區一:1200 ℃                                        溫區二:1200 ℃

額定溫度

溫區一:1100 ℃                                        溫區二:1100 ℃

升溫速率

≤30 ℃/ Min (可根據要求修改)

推薦升溫速率

≤15℃/ Min

熱電偶型號

溫區一:K 型                                                     溫區二:K型

加熱段長度

溫區一:200mm                                                  溫區二:200 mm

溫場曲線

電器認證

 

四周表面溫度

≤45℃

法蘭和閥門

 

GX供氣系統主要參數

 

 

D07-7C

質量流量計

 

量程和氣體

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型)

耐壓

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作(使用)壓力

0.3MPa

線性

±0.5%F.S.

重復精度

±0.2% F.S

路數

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

系統工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45℃

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽氣系統

 

方案一或方案二任選一個

 

 

 

電源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統抽爐管真空度可達

 10 -1Pa

真空擋板閥

 KF25

VRD-16真空泵

(方案一)

型號

VRD-8

  極限分壓強

5X10-2 Pa

   進排氣接口

 KF25

    電機轉速

1440RPM

抽氣速率

 2.2L/S

    電機功率

0.4KW

瑞典(INFICON)

皮拉尼陶瓷電容真空計

(方案二)

     型號

PCG554

  輸入電壓

 24V  1A DC(配有220V變壓器)

真空計接口

KF16

數字顯示

數字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數據顯示單位為torr

產品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

檢測氣體

可檢測各種氣體,包括混合氣體,測量精確、重復性好。

是否防腐

防腐

響應時間

≤30ms

測量范圍

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵機組(選購)

 

(方案一或方案二任選一個)

機組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

機箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 分子泵型號

  FJ620

  輸入電壓

 380V

  分子泵進氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S(對空氣)

  600

分子泵極限壓強(Pa)

6×10-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓(MPa)

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃

環境溫度

0~40℃

建議啟動壓強

<10pa

分子泵前級真空泵TRP-24

  

(方案二)  

功率

0.75KW

電壓

380V

轉速

1450rpm

進氣口徑

 KF25/KF40

前機泵抽氣速率(L/S)

6

極限壓強

4X10 -2Pa

德國Pfeiffer真空泵

(方案二)

 

 

電壓

220V

功率

110W

抽氣接口

KF40

重量

150KG

前機泵抽速

0.9m 3/ h

抽氣速率(N2)

33L/S

 

復合真空計

復合真空計型號

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計測量范圍

10-5 -10 5 Pa

 

 

 

  ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統由滑動管式爐、石英真空室、GX供氣系統、抽氣系統、真空測量系統和ALD系統組成。

    這款ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統以 電阻絲為加熱元件,采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表,過零觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端能不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能、價格優惠等優點。  

開蓋保護系統:該爐安裝有行程開關,當爐蓋打開時會自動切斷電源,有效地保證使用者的安全。

 

1、瑞典Kanthal A1 電阻絲

                  

           

        Kanthal A1 原絲               進口電阻絲爐膛

 

(1)、表面溫度高可達1420

(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。

(3)、Kanthal電阻絲資料下載

(4)、Kanthal電阻絲網站:www.kanthal.com

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好

                                                      

   Kanthal  A1 電阻絲 電阻均勻 、 發熱量均衡

     溫場效果好                 

 

 

2、安裝有空氣開關和漏電保護器:

當電路過流或漏電時,空開會自動斷開。

 

、

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出

 

 

4、爐膛

 

     

1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用日本技術成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本最優的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場

4、采用4周加熱,溫場更加均衡

 

5、可選UL認證電氣板 (全部通過UL認證的進口電器)

 

 

6、認證

     

 

7、法蘭

                                   

鉸鏈式法蘭(選購)           可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭(選購)                 水冷法蘭(選購)

                            

 

 

 

描敘

數量

圖片

TL1200-1200 雙溫區滑動管式爐

1 臺

石英管

1根

不銹鋼法蘭

1 套

不銹鋼爐鉤

1 根

氧化鋁爐塞

3個

高溫手套

1 對

氧化鋁坩堝

1 個

COM轉USB接口

1 套

說明書

1 份

 

軟件

1份

 

供氣系統

質子流量計供氣系統

浮子流量計供氣系統

 

 

抽氣系統

 

 

真空泵

2XZ-2

 

TW-1.5A

FX-16

德國普發分子泵

電阻真空計

電阻真空計

復合真空計

波紋管

KF25

KF40

真空擋板閥

KF25

KF40

KF卡套

KF25

KF40

KF三通

KF25



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